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催化氧化處理技術是把有機廢氣加熱到250-300℃左右進行催化燃燒，使廢氣中VOCs氧化分解成CO2和 H2O。在催化燃燒過程中,催化劑的作用是降低反應的活化能,同時使反應物分子富集于催化劑表面,以提高反應速率。催化劑負載Pt、Pd 貴金屬，起燃溫度低，凈化效率~99%，啟動時間快，一次性投資小。 催化劑為表面反應，如果含有固體聚集在陶瓷表面，長時間降低催化效率。
有機廢氣經鼓風機進入氧化爐，由燃料氧化加熱，升溫至250一300。C左右。在此溫度下，廢氣里的有機成分在催化劑的作用下被氧化分解為二氧化碳和水，反應后的高溫煙氣進入特殊結構的陶瓷蓄熱體，絕大部分的熱量被蓄熱體吸收(95%以上)，溫度降至接近進口的溫度后經煙筒排放。
通常情況下，蓄熱催化氧化系統由三個蓄熱室構成，廢氣在PLC程序的控制下，循環執行以下的操作流程：進入已蓄熱的蓄熱室，使廢氣得到預熱，然后進入熱氧化室，處理的廢氣經未蓄熱的蓄熱室放熱后排放，一部分處理后的氣體被引回到第三室，吹掃其中殘留的未處理廢氣。
催化氧化技術使用于小風量、高濃度的場合，可處理苯類、醇類、酯類、烷烴類、醚類等各種廢氣，但是不能處理含有S、鹵素、P等易造成催化劑中毒和失活的物質，同時也可和吸附濃縮設備組合起來，可以適用于大風量、低濃度廢氣的處理，適合于涂料油墨生產行業、涂裝行業、包裝印刷行業、半導體、噴漆、涂布、化工、石化等行業。
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